SEM 电荷积累：影响和优化策略338

SEM 电荷积累是指在扫描电子显微镜 (SEM) 成像过程中，样品表面因电子束轰击而发生的电荷积聚现象。这种电荷积累会导致图像失真，具体表现为明亮区域或条纹，从而影响 SEM 数据的准确性和解释。

电荷积累的影响：
图像亮度失真：电荷积累会导致样品表面某些区域过度发光，从而掩盖细节并难以观察真实表面特征。
条纹伪影：电子束在样品表面扫描时，电荷积累会形成条纹状图案，干扰成像并降低图像质量。
衬度降低：电荷积累可以降低样品不同区域之间的对比度，使图像难以解读。
充电效应：严重的电荷积累会导致局部充电，使电子束偏离预定路径，导致图像扭曲或失焦。

防止电荷积累的优化策略：

导电样品：导电性强的样品通常不会积累电荷。如果可能，使用导电胶带或碳涂层使绝缘样品导电。低加速电压：降低电子束的加速电压可以减少电荷积累。使用较低电压（例如

2025-01-20

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