纳米结构表征中的FIB SEM技术399

前言

FIB SEM（聚焦离子束扫描电子显微镜）是一种先进的成像技术，广泛用于纳米结构材料的表征。它结合了聚焦离子束 (FIB) 和扫描电子显微镜 (SEM) 的优势，提供高分辨率的 3D 图像和材料结构信息。

FIB SEM 工作原理

FIB SEM 工作原理如下：

聚焦离子束：一个高能镓离子束聚焦成一个细束，用于轰击样品表面。离子溅射：离子束与样品表面相互作用，溅射出材料原子。扫描：离子束以规则模式扫描样品表面，逐个体素（体元）地去除材料。扫描电子显微镜：暴露的区域用电子束扫描，产生二次电子和背散射电子信号，这些信号用于生成图像和提供材料信息。

FIB SEM 优势

FIB SEM 技术具有以下优势：

高分辨率成像：纳米级分辨率（

2024-10-24

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