纳米结构表征中的FIB SEM技术399
前言
FIB SEM(聚焦离子束扫描电子显微镜)是一种先进的成像技术,广泛用于纳米结构材料的表征。它结合了聚焦离子束 (FIB) 和扫描电子显微镜 (SEM) 的优势,提供高分辨率的 3D 图像和材料结构信息。
FIB SEM 工作原理
FIB SEM 工作原理如下:
聚焦离子束:一个高能镓离子束聚焦成一个细束,用于轰击样品表面。离子溅射:离子束与样品表面相互作用,溅射出材料原子。扫描:离子束以规则模式扫描样品表面,逐个体素(体元)地去除材料。扫描电子显微镜:暴露的区域用电子束扫描,产生二次电子和背散射电子信号,这些信号用于生成图像和提供材料信息。FIB SEM 优势
FIB SEM 技术具有以下优势:
高分辨率成像:纳米级分辨率(2024-10-24